雙級旋片真空泵是如何工作的,工作原理其實很簡單。
瀏覽次數:4623發布日期:2020-03-27
旋片真空泵,螺桿真空泵廠家介紹過它的原理,也介紹過普通旋片與干式旋片的一些差異。今天我們要再了解下其中的雙級旋片真空泵是如何工作的。
普通的旋片真空泵有單雙級之分,一般單級的工作真空(非極限真空)介于大氣壓到50Pa之間,而雙級的工作真空(非極限真空)一般在大氣壓到5Pa之間。《容積式真空泵知多少——旋片式真空泵》中,螺桿真空泵廠家介紹了基本的原理。而雙級旋片真空泵的運作可以簡單地理解為將兩個單級泵串聯起來:
雙級旋片真空泵由兩個工作室組成,兩室前后串聯,同向等速旋轉;一般流程中被抽氣體由進氣口進入高真空級,經過高真空級壓縮后再經通道進入到低真空級再度進行壓縮;但在抽氣剛開始時,一般情況下真空室的壓力本身較高,被抽氣體經過高真空級壓縮后因增幅過大會早早達到排氣壓力,此時壓縮氣體會由輔助排氣閥排出一部分,另外一部分繼續進入低真空級進行壓縮排放;抽到一定程度后,進氣壓力變小,這時經過高真空級壓縮后的氣體壓力會低于輔助排氣閥的開啟壓力,這時輔助排氣閥就會關閉,氣體會全部經通道進入低真空級壓縮后排出。
另外,關于輔助排氣閥這個設置,也不是所有的雙級旋片真空泵都會有。一些小型的雙級旋片真空泵可能將高低真空腔做成等腔結構,這個時候就不需要輔助排氣閥。
雙級旋片真空泵的主要運作原理也就是這些了,是不是了解了呢?